Guide to Positive Photoresist Adhesion Promoters

ADHESION PROMOTER

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AP001
(V) 

AP010
(V)(L) 

AP020
(V) 

AP100
(L) 

AP150
(L) 

AP200
(L) 

AP300
(L) 

AP400
(V) 

SILICON Single Crystal 

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POLYSILICON

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DOPED POLYSILICON 

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OXIDE (SiO2) 

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BPSG 

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NITRIDE Silicon Nitride 

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METAL Silicides 

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GOLD 

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ALUMINUM (Rework) 

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COPPER 

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**

GLASS 

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Plastic 

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SOG 

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(click on the product's name at the top of the column for detailed description)

METHOD OF PRIME

V 

Vapor 

**** 

Superior 

L 

Liquid 

*** 

Excellent 

** 

Good 

* 

Poor 


 
 

VAPOR PRIME COMPARISON TABLE

 

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Contact: Silicon Resources